高纯气体纯化设备
气体纯化设备可清除会导致晶圆缺陷的杂质。分子杂质，也被称作气态或挥发性杂质，最近作为缺陷源而更受关注，可使用和宏纯化解决方案有效滤除。这些纯化器可使用材料反应床排除水分、氧气、二氧化碳、一氧化碳、烃和金属羰基化合物等杂质。
排出传统颗粒过滤无效位置的气流中的杂质。我们的材料可清除背景水平的污染物，不会在工艺流中产生金属或其它有害污染物。所有纯化器组件都为超高纯产品，保证气体的超高纯度。
