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公司新闻 COMPANY NEWS
一种氮气加热装置
发布时间:2016-06-21   点击率:1057
本实用新型公开了一种用于硅片烘干的氮气加热装置,包括:空气加热包,其内设有加热管道;氮气加热包,其内设有与空气换热的氮气盘管;连接空气加热包出口和氮气加热包入口的抽风管道,该抽风管道上设有抽风机;连接氮气加热包中空气出口与空气加热包入口的回气管
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